愛德華STP-XA3203C半導體設備泵保養,Edwards磁懸浮分子泵維修
愛德華STP-XA3203C磁懸浮半導體設備泵保養，Edwards 愛德華STP-XA3203CV磁懸浮分子泵進氣法蘭口ISO320F，出氣法蘭口KF40，抽速可達到3200 L/s，轉速為27500 rpm，極限壓力10-7Pa ，對應的控制器為：EdwardsSCU-1600 ,金華杰精修Edwads愛德華/Seiko Seiki精工精機全系列分子泵。
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