渦輪分子泵應用于超高真空互聯裝置
超高真空互聯系統一般是通過 RDC 傳樣裝置將不同的超高真空腔體連接起來, 例如: 快速進樣室, 樣品生長腔, 襯底制備腔, 電子結構分析腔等, 傳樣過程中保證超高真空量級的真空增量, 超高真空互聯系統最多可以連接 8個腔體左右, 極限真空好于 1E-10mbar！

超高真空互聯裝置需要在超高真空環境中進行, 對真空度要求及其高, 真空可達 1E-10mbar,一般需要用前級泵, 分子泵, 離子泵, 鈦泵等組合使用來達到要求, 渦輪分子泵需要低振動, 低噪音, 清潔無油確保超高真空的穩定性以保證晶格的生長和后期的探測分析. 上海伯東德國 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 80, HiPace 300, HiPace 700, HiPace 1200 廣泛應用于超高真空互聯裝置中!

超高真空互聯系統會以 ARPES, STM, MBE, UPS, XPS 的聯用為主.下圖為上海伯東某研發生產各類高真空系統客戶實例圖:

1. ARPES 角分辨光電子能譜, 利用光電效應研究固體的電子結構, 當一束光照射在樣品表面,當入射光頻率高于特定閾值 (功函數)時, 表面附近的電子會脫離樣品, 成為自由電子, 這就是光電效應. 光電子在真空飛行的過程中, 被一個接受角度很小的能量分析器收集計數.

上海伯東 ARPES 光束線客戶案例: 某光源 ARPES 光束線真空系統, 真空系統是同步輻射光束線的重要組成部分, 只有在真空環境中運行, 光學元件才能夠將同步輻射光傳輸到試驗站, 真空系統的作用就是獲得并維持合理的真空度, 保證光束線的穩定運行. 此系統搭配伯東 Pfeiffer 分子泵 HiPace 80, Hipace 300 及配套真空規.


2. 分子束外延 MBE 是一種晶體生長技術, 首先將待成長的芯片放置在超高真空腔體中（~10-10Torr）, 和將需要生長的單晶物質按元素的不同分別放在噴射爐中, 當爐溫升至一定溫度時, 爐中的材料會以原子束或分子束的形式蒸發出來, 此時基板也被加熱至一適當的溫度, 分子束射至基板時, 就會與基板表面的原子結合而生長出極薄的, 可薄至單原子層水平, 單晶體和幾種物質交替的超晶格結構.

3. 掃描隧道顯微鏡 STM 是根據量子力學中的隧道效應原理, 通過探測固體表面原子中電子的隧道電流來分辨固體表面形貌的新型顯微裝置.

上海伯東 MBE 與 STM 聯用客戶案例: 某大學自主搭建分子束外延與掃描隧道顯微鏡系統, 經過伯東推薦, 采用 Pfeiffer 分子泵 HiPace 300 和渦輪分子泵 HiPace 80 并搭配美國 HVA 真空閘閥成功分析生長晶體表面結構


Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 更多分子泵典型應用 >>