分子泵內部油潤滑與脂潤滑區別
上海伯東 Pfeiffer 復合軸承渦輪分子泵, 內部陶瓷軸承采用油潤滑方式. 油潤滑對比脂潤滑主要優勢如下：
1. 給軸承降溫, 延長了分子泵的使用壽命
2. 減少軸承滾珠磨損
3. 清洗分子泵軸承, 避免污染物附著在軸承上
脂潤滑不具備以上優點, 而且易殘留, 容易導致分子泵的故障率高
上海伯東 HiPace 系列渦輪分子泵技術規格
型號
|
進氣口 DN
|
壓縮比
|
極限真空 hPa
|
抽速 l/s
|
N2
|
He
|
H2
|
Ar
|
N2
|
He
|
H2
|
Ar
|
HiPace 10
|
25
|
3X106
|
3X103
|
3X102
|
2.5X108
|
< 5X10-5
|
10
|
6
|
3.7
|
11.5
|
HiPace 80
|
40 /63
|
1X1011
|
1.3X107
|
1.4X105
|
1X1011
|
< 5X10-10
|
67
|
58
|
48
|
66
|
HiPace 300
|
100
|
1X1011
|
1X108
|
9X105
|
1X1011
|
< 5X10-10
|
260
|
255
|
220
|
255
|
HiPace 700
|
160
|
>1X1011
|
3X107
|
14X105
|
1X1011
|
< 5X10-10
|
685
|
655
|
555
|
665
|
HiPace 1200
|
200
|
>1X108
|
2X104
|
6X103
|
>1X108
|
< 5X10-10
|
1250
|
1300
|
1100
|
1200
|
HiPace 2300
|
250
|
>1X108
|
3X105
|
2X104
|
>1X108
|
< 5X10-10
|
1900
|
2000
|
1850
|
1800
|
極限真空為實驗室理想值
上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 系列獲得 Semi S2, UL, CSA 和 Nema 12 認證. 特別適用于質譜分析, 電子顯微術, 測量技術, 粒子加速和等離子體物理方面的應用. 除了用于分析, 真空工藝和半導體技術外, 還可用于真空鍍膜, 研發以及工業領域.
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