伯東企業（上海）有限公司真空事業部

Pfeiffer 分子泵應用于分子束外延 MBE 與掃描隧道顯微鏡 STM 聯用系統 -- 分析生長晶體表面結構
分子束外延 MBE 是一種晶體生長技術, 將半導體襯底放置在超高真空腔體中, 和將需要生長的單晶物質按元素的不同分別放在噴射爐中, 由分別加熱到相應溫度的各元素噴射出的分子流能在襯底上生長出極薄的, 可薄至單原子層水平, 單晶體和幾種物質交替的超晶格結構.

掃描隧道顯微鏡 STM 是一種利用量子理論中的隧道效應探測物質表面結構的儀器, STM 技術的最大優勢在于可獲得原子級的分辨率.

分子束外延 MBE 與掃描隧道顯微鏡 STM 聯用: 可以成功分析 MBE 生長晶體表面結構, 這種聯用現已廣泛應用于各大院校和研究院應用表面物理實驗中. 分子束外延 MBE 與掃描隧道顯微鏡 STM 系統都需要在超高真空環境中進行, 對真空度要求及其高, 需要分子泵低振動, 低噪音, 清潔無油確保超高真空的穩定性已保證晶格的生長和后期的探測分析. 上海伯東 Pfeiffer 分子泵搭配美國 HVA 真空閥門成功應用于此行業.

上海伯東 MBE 與 STM 聯用客戶案例: 某大學自主搭建分子束外延與掃描隧道顯微鏡系統,經過伯東推薦,采用 Pfeiffer 分子泵 Hipace 300 和渦輪分子泵 Hipace 80 并搭配美國 HVA 真空閘閥成功分析生長晶體表面結構.

超高真空系統配置:

	渦輪分子泵 HiPace 300 接口: DN 100 CF-F 極限真空: < 5X10-10 mbar 氮氣壓縮比: > 1X1011
	渦輪分子泵 HiPace 80 接口: DN 63 CF-F 極限真空: < 5X10-10 mbar 氮氣壓縮比: > 1X1011
	HVA 超過真空閘閥 11000 口徑: DN 50 CF-F 極限真空: 1x10-10 mbar 手動操作

上海伯東 Pfeiffer 分子泵廣泛應用于友廠, 如英�？� Inficon UL1000 氦質譜檢漏儀, 愛發科 Ulvac Heliot 氦質譜檢漏儀, 布魯克 Bruke 醫療設備, 島津 Shimadzu 分析儀器等.

Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 更多分子泵典型應用 >>

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