技術指標
抽氣速率，工作范圍 抽氣速率，AVS4.1 (1963)
2125 L/s 空氣，2660 L/s 氦氣/氫氣 3700 L/s 空氣
最大抽氣量
在工作范圍內為 2.6 T L/s (3.5 mbar L/s)，0.01 Torr 時為 3.5 T L/s (4.5 mbar L/s)
操作范圍
1.2 x 10-3 至低于 5 x 10-9 torr（1.6 x 10-3 至小于 6.5 x 10-9 mbar）
最大前級耐壓
無負載：0.65 torr (0.85 mbar) 滿載：0.55 torr (0.72 mbar)
推薦前級泵
≥ 17 cfm (29 m3/h)
返油率，標準冷卻帽
低于 5.0 x 10-4 mg/cm2/min
預熱時間
10 min
冷卻時間
10 分鐘（使用速冷盤管）
注油量
500 cc — 準確的泵油包裝可用
電氣要求
單相，50/60 Hz，120/208/240 VAC
泵功率
2200 W
冷卻水要求
0.25 gpm (50 L/h)
連接水冷
1/8 英寸 FPT 三通
